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所属机构

中国科学院学部

个人简历

微电子科学与技术专家,长期从事半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究。1964年4月生于江西丰城市。1985年毕业于合肥工业大学,1988年获该校硕士学位,1998年于北京航空航天大学获博士学位。2015年当选为中国科学院院士。

研究领域

半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究

教育背景

1985年毕业于合肥工业大学,1988年获该校硕士学位,1998年于北京航空航天大学获博士学位

学术兼职

研究成果